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TECHNICAL ARTICLES臺(tái)式掃描電鏡技術(shù)原理及構(gòu)造詳解
2025-03-25 臺(tái)式掃描電鏡(SEM)是一種高分辨率的顯微鏡,通過(guò)掃描樣品表面并利用電子信號(hào)生成圖像。其技術(shù)原理及構(gòu)造相對(duì)復(fù)雜,但理解其核心部分有助于更好地應(yīng)用這一工具。技術(shù)原理方面,臺(tái)式掃描電鏡主要利用電子束作為探針,當(dāng)電子束與樣品表面相互作用時(shí),會(huì)產(chǎn)生多種類型的信號(hào),如二次電子信號(hào)(SE)、反射電子信號(hào)(BSE)和特征X射線等。這些信號(hào)被接收器和檢測(cè)系統(tǒng)收集并測(cè)量,進(jìn)而生成圖像和分析樣品特性。通過(guò)控制掃描區(qū)域的大小,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的放大觀測(cè)。在構(gòu)造上,臺(tái)式掃描電鏡主要由電子源、電子透鏡系...公司郵箱: info@shmicroinno.com
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